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Effect of an Inclined Susceptor on the Transport Phenomena in a Horizontal Atmospheric CVD Reactor:水平式化學蒸鍍反應器內傾斜基板對輸送現象影響之探討
朱智瑋 李克強 Chu, Chih-wei; Lee, Eric;
Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
29:2 1998.03[民87.03]
頁109-120
TCI引用統計