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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29:1 1997.03[民86.03]
- 頁 次:
頁72-80
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題 名:
AlN Films Deposited by RF Magnetron Sputtering Techniques:以濺射法探討氮化鋁多層基板之研製
- 作者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
22:2 1998.03[民87.03]
- 頁 次:
頁225-234
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題 名: