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Effects of Angle Misalignments on Pitch Measurements of Two-dimensional Gratings Using an AFM:利用原子力顯微鏡探討角度錯位對二維光柵節距量測的影響
Sugawara, Kentaro; Sato, Osamu; Yoshizaki, Kazunori; Misumi, Ichiko; Gonda, Satoshi; Takatsuji, Toshiyuki; Kitta, Jun-ichiro;
中國機械工程學刊
27:5 民95.10
頁531-534
TCI引用統計