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自發性電化學蝕刻法製備矽奈米線陣列對有機溶劑氣體感測之研究:Using Electroless Etching Method to Fabricate Silicon Nanowires Array for Sensing Volatile Organic Solvents Vapor
程金保 宋蕙伶 孫永翔 Cheng, Chin-pao; Sung, Hui-ling; Sun, Yung-hsinag;
真空科技
26:1 2013.03[民102.03]
頁63-69
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