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氦氣漏率標準件校正系統:A Calibration System for Helium Leak Calibrator
林郁洧 洪嘉俊 彭淑端 蕭健男 陳峰志 Lin, Yu-wei; Hung, Chia-chun; Peng, Shu-tuan; Hsiao, Chien-nan; Chen, Fong-zhi;
真空科技
25:2 2012.06[民101.06]
頁17-20
TCI引用統計