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原子層沉積之二氧化鉿感測薄膜於生醫感測器之應用:Hafnium Oxide Sensing Membrane by Atomic Layer Deposition for Biosensor Application
楊家銘 呂增富 呂承恩 王義舜 賴朝松 Yang, Chia-ming; Lu, Tseng-fu; Lue, Cheng-en; Wang, I-shun; Lai, Chao-sung;
真空科技
26:1 2013.03[民102.03]
頁27-33
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