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Single-Crystalline Silicon on Quartz (SOQ) Wafer by Ultra-Low Temperature (100℃) Wafer Bonding and Thinning Approaches:
Chang, Chih-hsiang; Peng, Cheng-jien; Lu, Guan-liang; Lin, Tzer-sheng;
淡江理工學刊
8:3 民94.09
頁207-210
TCI引用統計