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利用表面原子遷移機制應用於製作矽微奈米光學元件:Fabrication of Silicon Micro/Nano Photonics Devices Using Surface Atom Migration
李明昌 邱威超 楊哲銘 陳信宏 Lee, M. Ming-chang; Chiu, Wei-chao; Yang, Tse-ming; Chen, Chin-huag;
科儀新知
29:4=162 2008.02[民97.02]
頁38-44
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