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加速器極紫外光源發展概況:An Overview of Accelerator-based EUV Sources
劉偉強 劉宗凱 羅皓文 Lau, Wai-keung; Liu, Zong-kai; Luo, Hao-wen;
科儀新知
240 2024.09[民113.09]
頁77-91
TCI引用統計