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Development of a Novel Heavy-Loading Flexure Hinge Based Stack-Type Five-Degree-of-Freedom Nanometer Positioning Stage:一種新型奈米級五自由度重負荷疊積式平臺之建構
覺文郁 沈金鐘 劉建宏 鄧雲峰 簡裕特 Jywe, Wen Yuh; Shen, Jing Chung; Liu, Chien Hung; Teng, Yun Feng; Jian, Yu Te;
中國機械工程學刊
25:6 民93.12
頁465-474
TCI引用統計