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利用原子層控制之銅阻障層與種晶層沉積:
Haukka,Suvi; Raaijmakers,Ivo; Elers,Kai-erik; Kostamo,Juhana; Li,Wei-min; Sprey,Hessel; Soininen,Pekka J.; Tuominen,Marko;
電子月刊
10:3=104 2004.03[民93.03]
頁131-134
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