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Manufacturing Intelligence for Early Warning of Key Equipment Excursion for Advanced Equipment Control in Semiconductor Manufacturing:製造智慧以建構半導體關鍵設備異常預警與先進設備控制之研究
許嘉裕 簡禎富 陳培穠 Hsu, Chia-yu; Chien, Chen-fu; Chen, Pei-nong;
工業工程學刊
29:5 2012.07[民101.07]
頁303-313
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