刊名
類目
出版年
資料類型
檢索結果筆數(1)。 各著作權人授權國家圖書館,敬請洽詢 nclper@ncl.edu.tw
在搜尋的結果範圍內查詢:
全部
排序
每頁顯示
1
半導體設備之渦輪分子真空泵浦模態測試與振動分析:Vibration Characteristics Analysis and Modal Testing of a Semiconductor Equipment Turbo-molecular Vacuum Pump
許智能 黃裕盟 傅英嘉 蔣小偉 徐國勛 黎兆桓 Hsu, Chih-neng; Huang, Yu-meng; Fu, Ying-chia; Chiang, D. Hsiao-wei; Hsu, Kuo-hsun; Li, Chao-huan;
真空科技
24:1 2011.03[民100.03]
頁15-22
TCI引用統計