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以迴旋濺鍍法於藍寶石基板低溫成長氮化鋁薄膜之特性研究:Characterization of Low Temperature Grown AlN Films on Sapphires Using Helicon Sputtering Method
陳美汝 高慧玲 Chen, Meei-ru; Kao, Hui-ling;
清雲學報
32:3 2012.07[民101.07]
頁1-11
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