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玻璃基板主動式氣浮平臺設計與智慧型控制:Design and Intelligent Control of an Active Air Bearing Table for Glass Substrates of Flat Panel Display
江茂雄 林浩庭 陳畊谷 黃峻緯
機械工業
328 2010.07[民99.07]
頁40-54
TCI引用統計