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利用RBS方法研究矽與金屬介面低溫退火時的遷移現象:
黃勝良 吳秀錦 鍾世俊 鍾運開 徐武雄 劉遠中
真空科技
7:2 1994.08[民83.08]
頁6-16
TCI引用統計