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從活性離子蝕刻所產生的破壞和污染對低壓化學氣相沉積反應器中選擇性鎢金屬沉積之影響:
張國明 陳弘育 葉達勳
化工技術
9:10=103 2001.10[民90.10]
頁222-232
TCI引用統計