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使用多堆疊的化學氣相沉積Ti/TiN結構增強TiN薄膜的擴散阻障特性:
張鼎張 劉柏村 胡榮志 陳紀文 彭仁杰
奈米通訊
9:2 2002.05[民91.05]
頁13-17
TCI引用統計