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針對次微米級高深寬比微結構關鍵尺寸量測之創新式深紫外光波長掃描式散射術與系統:Novel DUV Wavelength-scanning Scatterometry and System for Sub-micron Scale High-aspect-ratio Microstructures
楊福生 林元琦 吳旻儒 洪彥鴻 郭柏辰 陳亮嘉 Yang, Fu-sheng; Lin, Yuan-ci; Wu, Min-ru; Hung, Yen-hung; Kuo, Bo-chen; Chen, Liang-chia;
科儀新知
242 2025.03[民114.03]
頁15-27
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