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晶圓廠單位耗能指標研究:(1)針對三家12吋晶圓廠之初步研究結果:
林永培 胡石政 李宗興 詹益亮 徐宗琦 李嘉珍
潔淨科技
18 2007.09[民96.09]
頁5-13
TCI引用統計