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應用全像干涉微影技術製作週期與準週期性微奈米結構:Fabrication of Two- and Three-dimensional Periodic and Quasi-periodic Structures by Using Optical Interference Technique
林建宏 賴玉蝶 杜名碧 巫晟逸 黃郁迪 梁文評 林宏彝 張天立 周大鑫 許佳振
機械工業
330 2010.09[民99.09]
頁22-30
TCI引用統計