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蝕刻暨CVD反應室潔淨過程之大氣壓力電漿排氣設備:
佐藤美玲 李春好 木村孝子 山本秀已 周偉琴 Rosting,Jhn Cristophe;
電子月刊
9:12=101 2003.12[民92.12]
頁123-127
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