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Ultra Shallow P狇-n Junctions for VLSI Devices by Incorporating N[feaf]狇Implantation:利用氮佈植以形成超大型積體電路元件所需之超淺接面
楊文祿 劉堂傑 李仕弘 陳朝祺 趙天生 雷添福 Yang, Wen-luh; Liu, Don-gey; Lee, Shih-hung; Chen, Chao-chi; Chao, Tien-sheng; Lei, Tan-fu;
逢甲學報
34 1998.12[民87.12]
頁93-103
TCI引用統計