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題 名:
單拍偏振干涉法應用於表面輪廓之量測:One-shot Polarization Interferometry for Surface Profile Measurement
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
499 2024.10[民113.10]
- 頁 次:
頁12-18
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題 名:
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題 名:
基於閃頻疊紋法之晶圓翹曲量測技術:Wafer Warpage Detection Technique Based on the Stroboscopic Moiré Method
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
511 2025.10[民114.10]
- 頁 次:
頁42-50
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題 名:
被引用次數:期刊(0) 博士論文(0) 專書(0) 專書論文(0)