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應用於電子元件對衝流冷卻研究之白金溫度感測器製程技術發展:MEMS-based Micro Temperature Sensor Array for Impinging Cooling of Electronics
呂宗行 廖仁瑞 Leu, Tzong-shing; Liao, Ren-re;
永達學報
4:1 2003.06[民92.06]
頁69-76
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