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應用薄膜輪廓工法製作通道長度小於50奈米之氧化鋅(ZnO)薄膜電晶體:Downscaling of Film Profile Engineered ZnO Thin-Film Transistors to Sub-50nm with an Exquisitely Designed Approach
楊宗祐 呂榮哲 林鴻志
奈米通訊
25:1 2018.03[民107.03]
頁17-24
TCI引用統計