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Pre-Intrinsic Gettering Treatment of CZ Silicon Substrate for the Yield Of Semiconductor Device:矽基法之本質吸引處理對半導體元件成品率之影響
楊炳焜 林文寬 劉明展 Yang, Ping-kung; Lin, Wen-kuan; Liu, Ming-cheng;
高雄工學院學報
3 1996.06[民85.06]
頁51-56
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