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以射頻磁控濺鍍法調控氫含量以製備氧化鋅透明導電薄膜:Hydrogen Modifications to Zinc Oxide TCO Thin Film Growth Behaviors by Radio-frequency Magnetron Sputtering
林信翰 余王傑 侯文棋 洪昭南 傅勣惺 Lin, Hsin-han; Yu, Jay W.C.; Hou, Wen-chi; Hong, Franklin C.N.; Fu, Chi-hsing;
真空科技
24:2 2011.06[民100.06]
頁25-32
TCI引用統計