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晶圓上奈米級厚度氧化的銅在酸性液中溶解特性之研究:Dissolution Characterization of Oxidized Copper with Nano-Level Thicknesses on the Wafer in Acid Solutions
楊文彬 劉鳳錦 何定穎 朱錦明 Yang, W. P.; Liu, F. J.; Ho, T. Y.; Chu, C. M.;
聯大學報
3:1 民95.06
頁16-23
TCI引用統計