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題 名:
濺鍍銅膜之氧化行為研究:On the Oxidation Behavior of Sputtered Copper Film on Si Wafer
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
34:1 2002.03[民91.03]
- 頁 次:
頁1-7
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
210 2000.09[民89.09]
- 頁 次:
頁158-169