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降溫化學氣相沈積疊層非晶質Ti/TiNx阻障層於銅金屬化製程的應用:
歐耿良 吳文發 許倬綸 顏進偉 許瓊姿
奈米通訊
10:2 2003.05[民92.05]
頁25-29
TCI引用統計