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以凡德瓦爾磊晶法成長高品質氮化鋁生長於二硫化鎢/氧化鋁基板與晶體微結構分析之研究:Growth and Microstructure of High Quality AlN on 2D Materials by Van der Waals Epitaxy
陳維鈞 李慕桓 丘坤安 王尉霖 曾釋鋒 陳宏彬 林郁洧 陳華琳 陳峰志 Chen, Wei-chun; Lee, Mu-huan; Chiu, Kun-an; Wang, Wei-lin; Tseng, Shih-feng; Chen, Hung-pin; Lin, Yu-wei; Chen, Hua-lin; Chen, Fong-zhi;
真空科技
37:1 2024.03[民113.03]
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