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半導體製程化學機械研磨污泥零廢棄技術開發成果:Achievements in the Development of Zero-waste Technology for Chemical-mechanical Polishing Sludge in Semiconductor Manufacturing
謝雅敏 周信輝 謝興文 王銘隆 官晉安 鄭文明 Hsieh, Y. M.; Chou, S. H.; Hsieh, H. W.; Wang, M. L.; Kuan, C. A.; Cheng, W. M.;
工業材料
441 2023.09[民112.09]
頁98-103
TCI引用統計