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利用化學氣相沉積法於矽晶圓與藍寶石基板上合成氮化鎢奈米片材:Synthesis of Tungsten Nitride Nanosheets on Si Wafer and Sapphire via Chemical Vapor Deposition
余亭葳 顏子恆 詹家瑋 陳律志 陳柏閎 楊智超 邱聖貴 Yu, Ting-wei; Yen, Tzu-heng; Chan, Chia-wei; Chen, Lu-chih; Chen, Bo-hong; Yang, Zhi-chao; Chiu, Sheng-kuei;
真空科技
36:1 2023.03[民112.03]
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TCI引用統計