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題 名:
稀土類ALD前驅物之半導體應用:The Applications of Precursors with Rare Earth Element in Atomic Layer Deposition
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
438 2023.06[民112.06]
- 頁 次:
頁132-139
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題 名:
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題 名:
原子層沉積之前驅物技術:The Technology of Precursor for Atomic Layer Deposition
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
436 2023.04[民112.04]
- 頁 次:
頁42-50
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題 名: