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利用軟、硬X光以多角度解析半導體界面薄膜:Investigation of the Semiconductor Interfacial Thin Film Using the AR-XPS Technique Combing with Soft and Hard X-rays
楊庭嘉 王嫚瑩 黃珮禎 張熏匀 鄭怡媗 黃行怡 黃玉君 林煒淳 Yang, Ting-jia; Wang, Man-ying; Huang, Pei-chen; Chang, Hsun-yun; Cheng, Yi-hsuan; Huang, Shing-yi; Huang, Yu-chun; Lin, Wei-chun;
真空科技
36:1 2023.03[民112.03]
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