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非線性雷射改質高深寬比玻璃成孔技術:Nonlinear Laser Modification of Glass Substrates for Fabrication of High Aspect Ratio Through-Glass Vias
周府隆 張芯語 黃建融 林于中
機械工業
479 2023.02[民112.02]
頁12-19
TCI引用統計