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四維掃描穿透影像系統(4D-STEM)於高階元件應力之檢測分析技術:Strain Analysis Technology of Advanced Devices Using Four-dimensional Scanning Transmission Electron Microscopy (4D-STEM)
張睦東 陳蓉萱 羅聖全 Chang, M. T.; Chen, J. H.; Lo, S. C.;
工業材料
422 2022.02[民111.02]
頁32-42
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