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多向進氣化學氣相沉積系統之氣流場數值模擬研究:Numerical Simulation of Flow Field in Multi-directional Inlet Chemical Vapor Deposition System
陳華琳 陳維鈞 陳宏彬 陳哲勤 林郁洧 陳峰志 Chen, Hua-lin; Chen, Wei-chun; Chen, Hung-pin; Chen, Che-chin; Lin, Yu-wei; Chen, Fong-zhi;
科儀新知
233 2022.12[民111.12]
頁36-50
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