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結合數位影像相關法與聚焦離子束環形鑽孔法於量測濺鍍製程奈米雙層薄膜之殘留應力:
鄧日明 吳修緯 張毓中 林明澤 陳元方
微系統暨奈米科技協會會刊
48 2022.12[民111.12]
頁28-34
TCI引用統計