刊名
類目
出版年
資料類型
檢索結果筆數(1)。 各著作權人授權國家圖書館,敬請洽詢 nclper@ncl.edu.tw
在搜尋的結果範圍內查詢:
全部
排序
每頁顯示
1
氦離子束檢測技術簡介及其於高深寬比結構鍍膜製程研發之應用:Introduction of Helium Ion Microscopy and Its Application in Developing Deposition Process for High Aspect Ratio Structures
李建霖 王亘黼 蔡坤諭 錢盛偉 蔡佳勳 董福慶 王慶鈞
機械工業
459 2021.06[民110.06]
頁38-45
TCI引用統計