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Contact Force Experiments and Deformation Analyses of a Cobra Needle Used in Vertical Wafer Probe Card:垂直式晶圓探針卡之探針接觸力實驗與變形分析
邱進東 張達元 Chiu, Jinn-tong; Chang, Dar-yuan;
中國機械工程學刊
42:5 2021.10[民110.10]
頁501-507
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