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Establishment and Experimental Verification of Simulation Model of Single-Crystal Silicon Cubic Spline Curve Nanochannel Machining:單晶矽奈米流道三次樣條曲線加工之模擬模式建立及實驗驗證
林榮慶 方信人 何杰珉 Lin, Zone-ching; Fang, Xin-ren; Ho, Jie-men;
中國機械工程學刊
42:4 2021.08[民110.08]
頁341-351
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