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碳化矽塗層於半導體與光電產業之應用:Application of Silicon Carbide Coating in Semiconductor and Optoelectronic Industry
吳金寶 陳泰盛 黃俊偉 施進德 Wu, J. B.; Chen, T. S.; Huang, J. W.; Shih, C. T.;
工業材料
402 2020.06[民109.06]
頁80-91
TCI引用統計