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封閉式高能磁控濺鍍系統鍍製透明硬膜之技術開發:Transparent Hard Coating Deposited by Closed Field Magnetron Sputtering with High-power Impulse Source
廖博輝 蕭健男 蕭銘華 林郁洧 陳昇暉 Liao, Bo-huei; Hsio, Chien-nan; Shio, Ming-hua; Lin, Yu-wei; Chen, Shen-hui;
科儀新知
222 2020.03[民109.03]
頁48-62
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