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應用濕式微縮硬式遮罩於薄膜輪廓工法製作線寬小於100奈米之氧化鋅(ZnO)薄膜電晶體:Fabrication of Sub-100nm Film-profile-engineered ZnO Thin-film Transistors in a Hardmask Wet Trimming Approach
管金儀 鄭重 彭康平 李佩雯 林鴻志
奈米通訊
25:3 2018.09[民107.09]
頁18-25
TCI引用統計