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熱處理對有機金屬化學氣相沉積成長鎵摻雜之氧化鋅薄膜特性影響之研究:Effect of Rapid Thermal Annealing Process on the Properties of Ga-doped ZnO Films Grown by MOCVD
黃瓊儀 歐信良 洪瑞華 Huang, Chiung-yi; Ou, Sin-liang; Horng, Ray Hua;
科儀新知
210 2017.03[民106.03]
頁88-96
TCI引用統計