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超薄層矽金氧半場效電晶體在不同輕摻雜汲極與袋型離子佈值濃度對短通道效應之影響:Short-Channel Effects of the Different LDD and Pocket Doping Concentration on Ultra Thin Body SOI Devices
陳啓文 穆守駿 陳育廷 廖柏青 Chen, Chii-wen; Mu, Shou-chun; Chen, Yu-ting; Liao, Bo-ching;
明新學報
42:1 2016.02[民105.02]
頁9-17
TCI引用統計