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氣體阻障層結構沉積在圖案化基材表面階梯覆蓋性之研究:A Study on the Step Coverage of a Gas Barrier Structure Deposited Onto the Patterned Substrate
劉華文 陳泰宏 張鈞豪 徐若名 黃聖博 陳志強 陳信嘉 陳順祺 劉代山 Liu, Hua-wen; Chen, Tai-hong; Chang, Jin-how; Xu, Ruo-ming; Huang, Sheng-bo; Chen, Jhih-ciang; Chen, Xin-jia; Chen, Shun-chi; Liu, Day-shan;
真空科技
29:4 2016.12[民105.12]
頁46-54
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