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即時電阻量測系統應用於原子層沉積白金薄膜成長分析:In-situ Resistance Measurement for Analysis of Platinum Thin Film Nucleation during Atomic Layer Deposition
卓文浩 柯志忠 林建寶 劉柏亨 余友軒 郭倩丞 陳峰志 Cho, W. H.; Kei, C. C.; Lin, C. P.; Liu, B. H.; Yu, Y. S.; Guo, C. C.; Chen, F. Z.;
真空科技
29:1 2016.03[民105.03]
頁27-31
TCI引用統計